| 1. Identity statement | ||||
| Reference Type | Report | |||
| Site | mtc-m21d.sid.inpe.br | |||
| Holder Code | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S | |||
| Identifier | 8JMKD3MGP3W34T/49T43EB | |||
| Repository | sid.inpe.br/mtc-m21d/2023/09.27.20.03 | |||
| Last Update | 2023:09.27.20.09.00 (UTC) simone | |||
| Metadata Repository | sid.inpe.br/mtc-m21d/2023/09.27.20.03.26 | |||
| Metadata Last Update | 2024:01.02.17.16.48 (UTC) administrator | |||
| Citation Key | FerreiraPillAiro:2023:EsCrFi | |||
| Title | Estudo do crescimento de filmes de DLC dopados com boro em sistemas PECVD pulsado  | |||
| Project | Estudo do crescimento de filmes de DLC dopados com boro em sistemas PECVD pulsado | |||
| Year | 2023 | |||
| Access Date | 2024, May 11 | |||
| Type | RPQ | |||
| Number of Pages | 38 | |||
| Number of Files | 2 | |||
| Size | 990 KiB | |||
| 2. Context | ||||
| Author | 1 Ferreira, Saulo Ribeiro 2 Pillaca, Elver Juan de Dios Mitma 3 Airoldi, Vladimir Jesus Trava | |||
| Resume Identifier | 1 2 3 8JMKD3MGP5W/3C9JJBK | |||
| Group | 1 2 CGIP-CGIP-INPE-MCTI-GOV-BR 3 CGIP-CGIP-INPE-MCTI-GOV-BR | |||
| Affiliation | 1 Universidade Federal de São Paulo (UNIFESP) 2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) | |||
| Author e-Mail Address | 1 saulo.rf02@gmail.com; s.ferreira02@unifesp.br 2 elver.mitma@inpe.br 3 vladimir.airoldi@inpe.br | |||
| e-Mail Address | saulo.rf02@gmail.com; s.ferreira02@unifesp.br | |||
| Institution | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais | |||
| City | São José dos Campos | |||
| History (UTC) | 2023-09-27 20:09:05 :: simone -> administrator :: 2023 2023-10-26 08:54:58 :: administrator -> simone :: 2023 2023-11-08 18:19:46 :: simone -> administrator :: 2023 2024-01-02 17:16:48 :: administrator -> simone :: 2023 | |||
| 3. Content and structure | ||||
| Is the master or a copy? | is the master | |||
| Content Stage | completed | |||
| Transferable | 1 | |||
| Keywords | diamond-like carbon DLC dopado PECVD boro cátodo adicional diamond-like carbon doped DLC PECVD Boron additional cathode | |||
| Abstract | Neste trabalho, filmes de DLC dopados com boro foram crescidos objetivando estudar suas propriedades estruturais, tribológicas e elétricas para aplicações na área espacial. A técnica PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) foi usada para o crescimento dos filmes em presença de um cátodo adicional. Diversos materiais como Ti6Al4V, aço inox 304, silício e vidro foram preparados para o crescimento dos filmes. O efeito da incorporação do boro no DLC foi avaliado utilizando diversas técnicas de caracterização de materiais, tais como: a perfilometria óptica, para medir a rugosidade; testes de tribologia, para medir o coeficiente de atrito; a espectroscopia RAMAN, para a análise estrutural do filme; a Microscopia Eletrônica de Varredura, para avaliar a topografia da superfície e; elétrica, para medir a resistência. Os substratos de Ti6Al4V e o aço inox 304 apresentaram uma rugosidade média (Ra) em torno de 24 nm antes da deposição, enquanto os substratos de vidro e silício mantiveram um Ra em torno de 12 nm. Não houve mudanças na rugosidade em todos os materiais após a deposição dos filmes. Resultados RAMAN confirmaram a presença do filme de DLC em todas as amostras. Os resultados também mostraram que a incorporação de boro no filme de DLC influenciou sua propriedade estrutural, apresentando um aumento da razão I D /I G em 1,2 vezes quando a tensão foi variada de -750V a -900V. Isto provocou uma mudança no coeficiente de atrito, incrementando-se em 1,7 vezes e, uma redução na resistência elétrica em 10 vezes. ABSTRACT: In this work, boron-doped DLC films were grown to study their structural, tribological and electrical properties for space applications. The PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) technique was used to grow the films in the presence of an additional cathode. Several materials such as Ti6Al4V, stainless steel 304, silicon, and glass were prepared for the film growth. The effects of boron incorporation in DLC were evaluated using several material characterization techniques, such as the optical profilometry, to measure the roughness; tribology tests, to obtain the coefficient of friction; RAMAN spectroscopy, to analysis of the structural of the film; and Scanning Electron Microscopy, to assess surface topography; and electrical, to measure the resistance. The Ti6Al4V and stainless steel 304 substrates showed an average roughness (Ra) around 24 nm before deposition, while the glass and silicon substrates maintained an Ra around 12 nm. No changes in roughness were found in all materials after film deposition. RAMAN results confirmed the presence of DLC film in all samples. The results also showed that the incorporation of boron in the DLC film influenced its structural property, showing an increase of about 1.2 times in the ID/IG ratio when the voltage was varied from -750V to -900V. This caused a change in the coefficient of friction, increasing by 1.7 times, and a reduction in electrical resistance by 10 times. | |||
| Area | FISPLASMA | |||
| Arrangement 1 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção a partir de 2021 > CGIP > Estudo do crescimento... | |||
| Arrangement 2 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção a partir de 2021 > COEPE > PIBIC/PIBITI 2023 > Estudo do crescimento... | |||
| Arrangement 3 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Acervo PIBIC/PIBITI > PIBIC/PIBITI 2023 > Estudo do crescimento... | |||
| doc Directory Content | access | |||
| source Directory Content | there are no files | |||
| agreement Directory Content |
| |||
| 4. Conditions of access and use | ||||
| data URL | http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34T/49T43EB | |||
| zipped data URL | http://urlib.net/zip/8JMKD3MGP3W34T/49T43EB | |||
| Language | pt | |||
| Target File | Relatorio_Final_Saulo_Ribeiro_Ferreira.pdf | |||
| User Group | simone | |||
| Visibility | shown | |||
| Rightsholder | originalauthor yes | |||
| Read Permission | allow from all | |||
| Update Permission | not transferred | |||
| 5. Allied materials | ||||
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| Citing Item List | sid.inpe.br/mtc-m16c/2023/11.14.02.16 3 sid.inpe.br/bibdigital/2022/04.03.23.11 2 sid.inpe.br/mtc-m21/2012/07.13.15.01.38 1 | |||
| Host Collection | urlib.net/www/2021/06.04.03.40 | |||
| 6. Notes | ||||
| Notes | Bolsa PIBIC/PIBITI/INPE/CNPq. | |||
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| 7. Description control | ||||
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